| 标准号JC179－81 代替标准号代替JC179－73 附图图1本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃坩埚。 半导体用透明石英玻璃坩埚有QSG1高纯透明石英玻璃坩埚与QSG2透明石英玻璃坩 埚两种。 一、技术栗求 1．物理、化学性能指标 （1）化学成分 a．QSG1高纯透明石英玻璃坩埚 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不 得大于0．001％。 其中：铝≤5×l0[-4]％；铜≤0．l×l0[-4]％； 铁≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％； 钾≤1×l0[-4]％；钠≤1×10[-4]％。 6．QSG2透明石英玻璃坩埚 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不 得大于0．01％。 其中：铝≤60×10[-4]％；铜≤0．1×l0[-4]％； 铁≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％； 钾≤4×l0[-4]％；钠≤4×l0[-4]％。 （2）热稳定性。 试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 （3）抗析晶性 试样在1200℃温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大 于0．5毫米的析晶白点；对于透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大于3毫米的析晶白点， 0.5￣3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。 2．外观指标 （1）两种坩埚均按外观指标分为二级（见表1）。 表１ 项目外观指标 一级二级 气直径弧度部分0.1￣0.20.3￣0.4 毫米直线部分0.1￣0.30.3￣0.7 泡允许数量（个/厘米[2]）≤3≤6 气丝状长径（毫米）0.5￣3.01.0￣7.0 泡点状直径（毫米）0.3￣2.00.5￣3.0 群允许总数（个/100厘米[2]）≤5≤8 暗长径弧度部分 毫米直线部分 疤允许数量（条/100厘米[2]）≤2≤4 色丝状长径（毫米）0.1￣1.00.2￣1.5 点状直径（毫米）0.1￣0.30.2￣0.5 斑允许总数（个/100厘米[2]）≤2≤4 揪痕直径（毫米）不允许≤13 揪揪痕深度（毫米）不允许≤0.3 揪痕D100毫米以下坩埚不允许≤2 痕数量D100￣130毫米坩埚≤3 透明颗粒允许数量（个/100厘米[2]）≤10≤30 波纹（毫米）≤0.2≤0.3 桔皮不允许按标样 云雾不允许不允许 注：ⅱ①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 ②非圆形缺陷的直径按算术平均值计。 （2）坩埚口部应细磨（内外倒角）戍烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的 表皮崩落。 （3）坩埚表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。 （4）不允许有沾污和析晶。 二、形状与规格尺寸? 3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表2的规定。 表２单位：毫米 外径高度底半径厚度范围同一横截面的厚度公差 DHR 80 0.560 2D-12.0￣2.80.3 -0.8-1─── 2 90 0.570 2D-12.0￣2.80.3 -0.8-1─── 2 100 0.580 2D-22.0￣2.80.3 -1.0-1─── 2 106 0.590 2D-12.0￣2.80.3 -1.0-1─── 2 114 0.575±2D-12.0￣2.80.3 -1.0─── 2 130 0.5110±2D-12.0￣2.80.4 -1.5─── 2 注：D130毫米以上坩埚按协议。 三、试验方法 4．化学成分 按JC186－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。 5．热稳定性 按JC187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。 6．抗结晶性 按JC188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。 7．气泡 按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。 |
