| 标准名称QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚标准类型中华人民共和国建筑材料工业部部标准标准号JC 179－81标准正文 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃坩埚。 半导体用透明石英玻璃坩埚有QSG1高纯透明石英玻璃坩埚与QSG2透明石英玻璃坩 埚两种。 一、技术栗求 1．物理、化学性能指标 （1）化学成分 a．QSG1高纯透明石英玻璃坩埚 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不 得大于0．001％。 其中：铝≤5×l0[-4]％； 铜≤0．l×l0[-4]％； 铁≤0．5×l0[-4]％； 硼≤0．1×l0[-4]％； 钾≤1×l0[-4]％； 钠≤1×10[-4]％。 6．QSG2透明石英玻璃坩埚 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不 得大于0．01％。 其中：铝≤60×10[-4]％； 铜≤0．1×l0[-4]％； 铁≤5×l0[-4]％； 硼≤0．3×l0[-4]％； 钾≤4×l0[-4]％； 钠≤4×l0[-4]％。 （2）热稳定性。 试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 （3）抗析晶性 试样在1200℃温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大 于0．5毫米的析晶白点；对于透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大于3毫米的析晶白点， 0.5- 3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。 2．外观指标 （1）两种坩埚均按外观指标分为二级（见表1）。 表１ 项 目 外 观 指 标 一 级 二级 气 直径 弧度部分 0.1- 0.2 0.3- 0.4 毫米 直线部分 0.1- 0.3 0.3- 0.7 泡 允许数量（个/厘米[2]） ≤3≤6 气 丝状直径（毫米） 0.5- 3.0 1.0- 7.0 泡 点状直径（毫米） 0.3- 2.0 0.5- 3.0 群 允许总数（个/100厘米[2]） ≤5≤8 暗 长 径 弧度部分 毫米 直线部分 疤 允许数量（条/100厘米[2]） ≤2≤4 色 丝状长径（毫米） 0.1- 1.0 0.2- 1.5 点状直径（毫米） 0.1- 0.3 0.2- 0.5 斑 允许总数（个/100厘米[2]） ≤2≤4 划痕直径（毫米） 不允许 ≤13 划 划痕深度（毫米） 不允许 ≤0.3 划 痕 D 100毫米以下坩埚 不允许 ≤2 痕 数 量 D 100- 130毫米坩埚 ≤3 透明颗粒允许数量（个/100厘米[2]） ≤10 ≤30 波纹（毫米） ≤0.2 ≤0.3 桔 皮 不允许 按标样 云 雾 不允许 不允许 注：ⅱ①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 ②非圆形缺陷的直径按算术平均值计。 （2）坩埚口部应细磨（内外倒角）成烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的 表皮崩落。 （3）坩埚表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。 （4）不允许有沾污和析晶。 二、形状与规格尺寸 3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表2的规定。 表２ 单位：毫米 外 径 高 度 底半径 厚度范围 同一横截面的厚度公差 D H R 80 0.5 60 2 D-1 2.0- 2.80.3 -0.8 -1 ─── 2 90 0.5 70 2 D-1 2.0- 2.80.3 -0.8 -1 ─── 2 100 0.5 80 2 D-2 2.0- 2.80.3 -1.0 -1 ─── 2 106 0.5 90 2 D-1 2.0- 2.80.3 -1.0 -1 ─── 2 114 0.5 75±2 D-1 2.0- 2.80.3 -1.0 ─── 2 130 0.5 110±2 D-1 2.0- 2.80.4 -1.5 ─── 2 注：D 130毫米以上坩埚按协议。 三、试验方法 4．化学成分 按JC 186－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。 5．热稳定性 按JC 187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。 6．抗结晶性 按JC 188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。 7．气泡 按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。 |
