| 标准名称QSG3透明石英玻璃坩埚标准类型中华人民共和国建筑材料工业部标准标准号JC/T 226-81标准正文 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。 本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。 一、技术要求 1．物理、化学性能指标 （1）化学成分 a．内涂层化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含 量不得大于0．001％。 其中：铝≤5×l0[-4]％； 铜≤0．l×l0[-4]％； 铁≤0．5×l0[-4]％； 硼≤0．1×l0[-4]％； 钾≤1×l0[-4]％； 钠≤1×10[-4]％。 b．坩埚坯体化学成分 铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含 量不得大于0．01％。 其中：铝≤60×10[-4]％； 铜≤0．1×l0[-4]％； 铁≤5×l0[-4]％； 硼≤0．3×l0[-4]％； 钾≤4×l0[-4]％； 钠≤4×l0[-4]％。 （2）热稳定性 试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。 （3）抗结晶性 试样在1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0．5～ 3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。 （4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。 表1 外径D 涂层重量 外径 D 涂层重量 毫米 克 毫米克 80 3.0 106 4.5 90 3.5 114 5.5 100 4.0 130 7.0 2．外观指标 (1)坩埚坯体部分（见表２）。 项 目 气 直径 弧度部分 0.3- 0.4 毫米 直线部分 0.3- 0.7 泡 允许数量（个/厘米[2]） ≤6 暗 长 径 弧度部分 1- 4 毫米 直线部分 2- 4 疤 允许数量（条/100厘米[2]） ≤4 色 丝状长径（毫米） 0.2- 1.5 点状直径（毫米） 0.2- 0.8 斑 允许总数（个/100厘米[2]） ≤4 透明颗粒允许数量（个/100厘米2） ≤30 波纹（毫米） ≤0.3 注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 ②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。 (2)坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。 (3)坩埚内表面不允许有色斑沾污和析晶。 (4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.5- 0.7毫米）为10 个。 二、形状与规格尺寸 3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表３规定。 表３ 外 径 高 度 底半径 厚度范围 同一横截面的厚度公差 D H R 80 0.6 60±2 D-1 2.0±0.50.3 -0.9 ─── 2 90 0.6 70±2 D-2 2.0±0.50.3 -0.9 ─── 2 100 0.6 80±3 D-2 2.3±0.50.3 -1.1 ─── 2 106 0.6 90±3 D-2 2.3±0.50.3 -1.1 ─── 2 114 0.6 75±3 D-2 2.3±0.50.3 -1.1 ─── 2 130 0.6 110±3 D-2 2.5±0.50.4 -1.6 ─── 2 三、试验方法 4．化学成分 按JC 1866－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定 进行。 5．热稳定性 按JC187－73《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。 6．抗结晶性 按JC 188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。 7．气泡 按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。 |
